シリコンウェーハ曲げ筋力テスト

最近, アンディ・リーは顧客からシリコンウェーハサンプルを受け取り、曲げ強度をテストする必要がありました. お客様の試験ニーズに応えるため, VTS測定および制御技術チームは、そのための一連の技術的ソリューションを開発しました. これには、テスト機器と方法の両方が含まれていました.

シリコンウェーハの曲げ強度試験 試験原理

シリコンウェーハの曲げ強度試験の原理は、サンプルに徐々に増加する曲げ荷重を加えることです。. そうすることによって, 破損する前に耐えられる最大曲げ応力を決定できます。. その結果, このプロセスにより、材料の耐破壊性と構造安定性を評価できます。.

試験関連規格

試験は参照規格 GB/T に基づいて実施されました 15615-1995 “シリコンウェーハの曲げ強度試験方法”

試験装置

1. VTS – WDW- 5KN万能材料試験機

2. 保護カバー

シリコンウェーハは試験時の応力により割れ、破片が飛散するため, 保護カバーはこれらの破片を効果的に隔離し、人への危害を防ぎます。.

3. 3-点曲げ試験

4. シックネスゲージ

5. テスト条件

サンプル名: シリコンウェーハ

テスト温度: 室温

テストタイプ: 三点曲げ

テスト速度: 0.508mm/分

Ⅳ. テストプロセス

サンプルの準備

実験を始める前に, シリコンウェーハをテスト要件を満たす形状に切断します。, 掃除して乾燥させます, 正確な検査結果を得るために、サンプルの表面に汚染物質がないことを確認します。.

サンプルの厚さと幅を測定します

の精度のシックネスゲージを使用してください。 1 ミクロン単位で各サンプルシリコンウェーハの厚さと幅を測定し、データの一貫性を確保します.

厚み測定: シリコンウェーハの厚さを測定します, 平均値は0.775mm.

長さの測定: シリコンウェーハの長さを測定します, 平均値は40mm.

幅測定: シリコンウェーハの幅を測定します, 平均値20mm.

設備と備品の準備

まず最初に, VTS-WDW-5万能材料試験機を使用して試験装置を設置します. さらに, 安全な操作を確保するために保護カバーを取り付けてください. 保護カバーは、試験中に骨折によって飛散した破片を効果的に隔離できます。, それにより人員への危害を回避します.

次, 試験機に三点曲げ治具を​​取り付ける. 治具の位置が正確であり、シリコンウェーハ曲げ試験の要件を満たしていることを確認します。.

テスト条件設定

試験機のパラメータを設定し、以下の条件で試験を行います。:

サンプル名: シリコンウェーハ

テスト温度: 室温

テストタイプ: 三点曲げ

テスト速度: 0.508mm/分

実験を開始する

シリコンウェーハサンプルを三点曲げ治具に置きます, 試験機を起動して、あらかじめ設定された速度で曲げ力を加えます。, シリコンウェーハの曲げ強度データを記録します.

データの記録と分析

まず最初に, シリコンウェーハが破損する前に耐える最大曲げ応力と関連データを記録します。. その後, このデータを整理して分析する. ついに, シリコンウェーハ素材の曲げ強度性能を評価します。.