Ujian kekuatan lentur wafer silikon

Baru-baru ini, Andy Li menerima sampel wafer silikon daripada pelanggan dan perlu menguji kekuatan lenturan mereka. Untuk memenuhi keperluan ujian pelanggan, pasukan teknikal pengukuran dan kawalan VTS membangunkan satu set penyelesaian teknikal untuknya. Ini termasuk kedua-dua peralatan dan kaedah ujian.

Ujian kekuatan lentur wafer silikon Prinsip Ujian

Prinsip ujian kekuatan lentur wafer silikon adalah untuk menggunakan beban lenturan yang meningkat secara beransur-ansur kepada sampel. Dengan berbuat demikian, kita boleh menentukan tegasan lentur maksimum yang boleh ditahan sebelum putus. Akibatnya, proses ini membolehkan kami menilai rintangan patah bahan dan kestabilan struktur.

Piawaian berkaitan ujian

Ujian telah dijalankan berdasarkan standard rujukan GB/T 15615-1995 “Kaedah ujian untuk kekuatan lenturan wafer silikon”

Peralatan ujian

1. VTS – WDW- 5Mesin ujian bahan universal KN

2. Penutup pelindung

Oleh kerana wafer silikon akan pecah kerana tekanan semasa ujian dan menghasilkan serpihan terbang, penutup pelindung boleh mengasingkan serpihan ini dengan berkesan untuk mengelakkan bahaya kepada kakitangan.

3. 3-ujian titik bengkok

4. Tolok ketebalan

5. Keadaan ujian

Nama contoh: wafer silikon

Ujian suhu: suhu bilik

Jenis ujian: lenturan tiga mata

Uji kelajuan: 0.508mm/min

IV. Proses ujian

Penyediaan sampel

Sebelum eksperimen bermula, potong wafer silikon ke dalam bentuk yang memenuhi keperluan ujian, bersihkan dan keringkan, dan pastikan tiada bahan cemar pada permukaan sampel untuk mendapatkan keputusan ujian yang tepat.

Ukur ketebalan dan lebar sampel

Gunakan tolok ketebalan dengan ketepatan 1 mikron untuk mengukur ketebalan dan lebar setiap sampel wafer silikon untuk memastikan ketekalan data.

Pengukuran ketebalan: Ukur ketebalan wafer silikon, dengan nilai purata 0.775mm.

Pengukuran panjang: Ukur panjang wafer silikon, dengan nilai purata 40mm.

Pengukuran lebar: Ukur lebar wafer silikon, dengan nilai purata 20mm.

Penyediaan peralatan dan lekapan

Pertama sekali, pasang peralatan ujian dengan menggunakan mesin ujian bahan universal VTS-WDW-5. Selain itu, pasang penutup pelindung untuk memastikan operasi yang selamat. Penutup pelindung dengan berkesan boleh mengasingkan serpihan yang terpercik oleh patah semasa ujian, dengan itu mengelakkan bahaya kepada kakitangan.

Seterusnya, pasangkan lekapan lentur tiga mata pada mesin ujian. Pastikan kedudukan lekapan adalah tepat dan memenuhi keperluan ujian lenturan wafer silikon.

Tetapan keadaan ujian

Tetapkan parameter mesin ujian dan uji mengikut syarat berikut:

Nama contoh: wafer silikon

Ujian suhu: suhu bilik

Jenis ujian: lenturan tiga mata

Uji kelajuan: 0.508mm/min

Mulakan percubaan

Letakkan sampel wafer silikon pada lekapan lentur tiga mata, mulakan mesin ujian untuk menggunakan daya lentur pada kelajuan yang telah ditetapkan, dan merekodkan data kekuatan lenturan wafer silikon.

Perekodan dan analisis data

Pertama sekali, rekod tegasan lentur maksimum dan data berkaitan yang tahan wafer silikon sebelum pecah. Seterusnya, menyusun dan menganalisis data ini. Akhirnya, menilai prestasi kekuatan lentur bahan wafer silikon.