Silisiumskaftbøyestyrketesting

Nylig, Andy Li mottok silisiumskiveprøver fra kunder og trengte å teste bøyestyrken. For å møte kundens testbehov, VTS -måling og kontrollteknisk team utviklet et sett med tekniske løsninger for det. Dette inkluderte både testutstyr og metoder.

Testprinsipp for bøyestyrke for silisiumwafer

Prinsippet for bøyestyrketesten for silisiumwafer er å påføre prøven en gradvis økende bøyelast. Ved å gjøre det, vi kan bestemme den maksimale bøyespenningen den tåler før brudd. Følgelig, denne prosessen lar oss evaluere materialets bruddmotstand og strukturelle stabilitet.

Testrelaterte standarder

Tester ble utført basert på referansestandarden GB/T 15615-1995 “Testmetode for bøyestyrke av silisiumskiver”

Testing av utstyr

1. VTS – WDW- 5KN universell materialtestmaskin

2. Beskyttende deksel

Siden silisiumplaten vil knekke på grunn av stress under testen og produsere flygende fragmenter, beskyttelsesdekselet kan effektivt isolere disse fragmentene for å forhindre skade på personell.

3. 3-punktbøytest

4. Tykkelsesmåler

5. Testforhold

Eksempelnavn: silisium wafer

Test temperatur: romtemperatur

Testtype: trepunkts bøying

Test hastighet: 0.508mm/min

IV. Testprosess

Prøveforberedelse

Før eksperimentet starter, kutt silisiumplaten i en form som oppfyller testkravene, rengjør og tørk den, og sørg for at det ikke er noen forurensning på overflaten av prøven for å oppnå nøyaktige testresultater.

Mål tykkelsen og bredden på prøven

Bruk en tykkelsesmåler med en nøyaktighet på 1 mikron for å måle tykkelsen og bredden på hver prøvesilisiumplate for å sikre datakonsistens.

Tykkelsesmåling: Mål tykkelsen på silisiumplaten, med en gjennomsnittsverdi på 0,775 mm.

Lengdemåling: Mål lengden på silisiumplaten, med en gjennomsnittsverdi på 40 mm.

Bredde måling: Mål bredden på silisiumplaten, med en gjennomsnittsverdi på 20 mm.

Klargjøring av utstyr og inventar

For det første, installer testutstyret ved å bruke VTS-WDW-5 universell materialtestmaskin. I tillegg, installer et beskyttelsesdeksel for å sikre sikker drift. Beskyttelsesdekselet kan effektivt isolere fragmentene som sprutet av bruddet under testen, og dermed unngå skade på personell.

Neste, installer trepunkts bøyefestet på testmaskinen. Sørg for at festeposisjonen er nøyaktig og oppfyller kravene til bøyetesten for silisiumwafer.

Testtilstandsinnstilling

Still inn testmaskinparametrene og test i henhold til følgende forhold:

Eksempelnavn: silisium wafer

Test temperatur: romtemperatur

Testtype: trepunkts bøying

Test hastighet: 0.508mm/min

Start eksperimentet

Plasser silisiumwaferprøven på trepunkts bøyefestet, start testmaskinen for å påføre bøyekraft med en forhåndsinnstilt hastighet, og registrere bøyestyrkedataene til silisiumplaten.

Dataregistrering og analyse

For det første, registrere den maksimale bøyespenningen og relaterte data som silisiumplaten tåler før den brytes. Senere, organisere og analysere disse dataene. Endelig, evaluere bøyestyrkeytelsen til silisiumwafermaterialet.