การทดสอบความแข็งแรงของเวเฟอร์ซิลิคอน

ล่าสุด, Andy Li ได้รับตัวอย่างเวเฟอร์ซิลิคอนจากลูกค้าและจำเป็นต้องทดสอบความแข็งแรงของการดัดงอของพวกเขา. เพื่อตอบสนองความต้องการในการทดสอบของลูกค้า, ทีมการวัดและควบคุม VTS ได้พัฒนาชุดของโซลูชั่นทางเทคนิคสำหรับไอที. รวมทั้งอุปกรณ์ทดสอบและวิธีการ.

หลักการทดสอบการทดสอบความแข็งแรงของเวเฟอร์ซิลิคอน

หลักการของการทดสอบความแข็งแรงของเวเฟอร์ซิลิคอนคือการใช้ภาระการดัดงอให้ค่อยๆเพิ่มขึ้นกับตัวอย่าง. โดยการทำเช่นนั้น, เราสามารถกำหนดความเครียดการดัดสูงสุดที่สามารถทนได้ก่อนที่จะแตกหัก. เพราะเหตุนี้, กระบวนการนี้ช่วยให้เราสามารถประเมินความต้านทานการแตกหักของวัสดุและความเสถียรของโครงสร้าง.

มาตรฐานการทดสอบที่เกี่ยวข้อง

การทดสอบดำเนินการตามมาตรฐานอ้างอิง GB/T 15615-1995 “วิธีทดสอบสำหรับการดัดความแข็งแรงของเวเฟอร์ซิลิคอน”

อุปกรณ์ทดสอบ

1. วีทีเอส – WDW- 5เครื่องทดสอบวัสดุสากล KN

2. ฝาครอบป้องกัน

เนื่องจากเวเฟอร์ซิลิคอนจะแตกเนื่องจากความเครียดในระหว่างการทดสอบและผลิตชิ้นส่วนบิน, ฝาครอบป้องกันสามารถแยกชิ้นส่วนเหล่านี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันอันตรายต่อบุคลากร.

3. 3-การทดสอบจุดโค้ง

4. มาตรวัดความหนา

5. เงื่อนไขการทดสอบ

ชื่อตัวอย่าง: เวเฟอร์ซิลิคอน

อุณหภูมิทดสอบ: อุณหภูมิห้อง

ประเภททดสอบ: การดัดสามจุด

ความเร็วในการทดสอบ: 0.508มม./นาที

IV. กระบวนการทดสอบ

การเตรียมตัวอย่าง

ก่อนเริ่มการทดลอง, ตัดเวเฟอร์ซิลิคอนเป็นรูปร่างที่ตรงกับข้อกำหนดการทดสอบ, ทำความสะอาดและแห้ง, และตรวจสอบให้แน่ใจว่าไม่มีสารปนเปื้อนบนพื้นผิวของตัวอย่างเพื่อให้ได้ผลการทดสอบที่ถูกต้อง.

วัดความหนาและความกว้างของตัวอย่าง

ใช้มาตรวัดความหนาด้วยความแม่นยำ 1 ไมครอนเพื่อวัดความหนาและความกว้างของเวเฟอร์ตัวอย่างซิลิคอนแต่ละตัวอย่างเพื่อให้แน่ใจว่าข้อมูลสอดคล้องกัน.

การวัดความหนา: วัดความหนาของเวเฟอร์ซิลิคอน, ด้วยค่าเฉลี่ย 0.775 มม..

การวัดความยาว: วัดความยาวของเวเฟอร์ซิลิคอน, ด้วยค่าเฉลี่ย 40 มม..

การวัดความกว้าง: วัดความกว้างของเวเฟอร์ซิลิคอน, ด้วยค่าเฉลี่ย 20 มม..

อุปกรณ์และการติดตั้ง

ประการแรก, ติดตั้งอุปกรณ์ทดสอบโดยใช้เครื่องทดสอบวัสดุ VTS-WDW-5 Universal. นอกจากนี้, ติดตั้งฝาครอบป้องกันเพื่อให้แน่ใจว่าการทำงานที่ปลอดภัย. ฝาครอบป้องกันสามารถแยกชิ้นส่วนได้อย่างมีประสิทธิภาพโดยการแตกหักในระหว่างการทดสอบ, จึงหลีกเลี่ยงอันตรายต่อบุคลากร.

ต่อไป, ติดตั้งอุปกรณ์ดัดงอสามจุดบนเครื่องทดสอบ. ตรวจสอบให้แน่ใจว่าตำแหน่งการติดตั้งนั้นถูกต้องและตรงตามข้อกำหนดของการทดสอบการดัดเวเฟอร์ซิลิคอน.

การตั้งค่าเงื่อนไขการทดสอบ

ตั้งค่าพารามิเตอร์เครื่องทดสอบและทดสอบตามเงื่อนไขต่อไปนี้:

ชื่อตัวอย่าง: เวเฟอร์ซิลิคอน

อุณหภูมิทดสอบ: อุณหภูมิห้อง

ประเภททดสอบ: การดัดสามจุด

ความเร็วในการทดสอบ: 0.508มม./นาที

เริ่มการทดลอง

วางตัวอย่างเวเฟอร์ซิลิคอนบนอุปกรณ์ดัดงอสามจุด, เริ่มเครื่องทดสอบเพื่อใช้แรงดัดด้วยความเร็วที่ตั้งไว้ล่วงหน้า, และบันทึกข้อมูลความแข็งแรงของการดัดของเวเฟอร์ซิลิคอน.

การบันทึกและวิเคราะห์ข้อมูล

ประการแรก, บันทึกความเครียดการดัดงอสูงสุดและข้อมูลที่เกี่ยวข้องที่เวเฟอร์ซิลิคอนทนต่อการเปลี่ยนแปลงก่อนที่จะแตกหัก. ต่อมา, จัดระเบียบและวิเคราะห์ข้อมูลนี้. ในที่สุด, ประเมินประสิทธิภาพความแข็งแรงของการดัดของวัสดุเวเฟอร์ซิลิคอน.