Siliziumwafer -Biegefestigkeitstests
Kürzlich, Andy Li erhielt Siliziumwaferproben von den Kunden und musste ihre Biegefestigkeit testen. Um die Testanforderungen des Kunden zu erfüllen, Das technische Team der VTS -Messung und -kontrolle entwickelte eine Reihe von technischen Lösungen dafür. Dies beinhaltete sowohl Testgeräte als auch Methoden.
Testprinzip für die Prüfung der Biegefestigkeit von Siliziumwafern
Das Prinzip des Biegefestigkeitstests für Siliziumwafer besteht darin, eine allmählich zunehmende Biegebelastung auf die Probe auszuüben. Auf diese Weise, Wir können die maximale Biegebelastung bestimmen, der es standhalten kann, bevor es bricht. Folglich, Mit diesem Verfahren können wir die Bruchfestigkeit und strukturelle Stabilität des Materials bewerten.
Testbezogene Standards
Die Tests wurden auf Basis des Referenzstandards GB/T durchgeführt 15615-1995 “Prüfverfahren zur Biegefestigkeit von Siliziumwafern”
Prüfgeräte
1. VTS – WDW- 5Universelle Materialprüfmaschine KN
2. Schutzhülle
Denn durch die Belastung während des Tests bricht der Siliziumwafer und es entstehen herumfliegende Bruchstücke, Die Schutzabdeckung kann diese Fragmente effektiv isolieren, um Verletzungen des Personals zu verhindern.
3. 3-Punktbiegetest
4. Dickenmessgerät
5. Testbedingungen
Beispielname: Siliziumwafer
Testtemperatur: Zimmertemperatur
Testtyp: Dreipunktbiegung
Testgeschwindigkeit: 0.508mm/min
IV. Testprozess
Probenvorbereitung
Bevor das Experiment beginnt, Schneiden Sie den Siliziumwafer in eine Form, die den Testanforderungen entspricht, Reinigen und trocknen Sie es, und stellen Sie sicher, dass sich keine Verunreinigungen auf der Oberfläche der Probe befinden, um genaue Testergebnisse zu erhalten.
Messen Sie die Dicke und Breite der Probe
Verwenden Sie ein Dickenmessgerät mit einer Genauigkeit von 1 Mikron, um die Dicke und Breite jedes Probe-Siliziumwafers zu messen und so die Datenkonsistenz sicherzustellen.
Dickenmessung: Messen Sie die Dicke des Siliziumwafers, mit einem Durchschnittswert von 0,775 mm.
Längenmessung: Messen Sie die Länge des Siliziumwafers, mit einem Durchschnittswert von 40mm.
Breitenmessung: Messen Sie die Breite des Siliziumwafers, mit einem Durchschnittswert von 20 mm.
Vorbereitung der Ausrüstung und Vorrichtungen
Erstens, Installieren Sie die Prüfausrüstung mithilfe der universellen Materialprüfmaschine VTS-WDW-5. Zusätzlich, Installieren Sie eine Schutzabdeckung, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Die Schutzhülle kann die durch den Bruch während des Tests verspritzten Fragmente wirksam isolieren, Dadurch werden Personenschäden vermieden.
Nächste, Installieren Sie die Dreipunkt-Biegevorrichtung auf der Testmaschine. Stellen Sie sicher, dass die Position der Vorrichtung genau ist und den Anforderungen des Siliziumwafer-Biegetests entspricht.
Testbedingungseinstellung
Stellen Sie die Parameter der Testmaschine ein und testen Sie sie gemäß den folgenden Bedingungen:
Beispielname: Siliziumwafer
Testtemperatur: Zimmertemperatur
Testtyp: Dreipunktbiegung
Testgeschwindigkeit: 0.508mm/min
Starten Sie das Experiment
Legen Sie die Siliziumwaferprobe auf die Dreipunkt-Biegevorrichtung, Starten Sie die Testmaschine, um eine Biegekraft mit einer voreingestellten Geschwindigkeit auszuüben, und zeichnen Sie die Biegefestigkeitsdaten des Siliziumwafers auf.
Datenaufzeichnung und -analyse
Erstens, Zeichnen Sie die maximale Biegespannung und die zugehörigen Daten auf, denen der Siliziumwafer standhält, bevor er bricht. Anschließend, diese Daten organisieren und analysieren. Endlich, Bewerten Sie die Biegefestigkeit des Siliziumwafermaterials.
