Prueba de resistencia a la flexión de la oblea de silicio
Recientemente, Andy Li recibió muestras de obleas de silicio de los clientes y necesitaba probar su fuerza de flexión. Para satisfacer las necesidades de prueba del cliente, El equipo técnico de medición y control de VTS desarrolló un conjunto de soluciones técnicas para la TI.. Esto incluyó tanto el equipo de prueba como los métodos.
Principio de prueba de prueba de flexión de la oblea de silicio
El principio de la prueba de resistencia a la flexión de la oblea de silicio es aplicar una carga de flexión que aumenta gradualmente a la muestra. Al hacerlo, Podemos determinar la tensión de flexión máxima que puede soportar antes de romperse. Como consecuencia, Este proceso nos permite evaluar la resistencia a la fractura del material y la estabilidad estructural.
Estándares relacionados con la prueba
Las pruebas se realizaron en función del estándar de referencia GB/T 15615-1995 “Método de prueba para la fuerza de flexión de las obleas de silicio”
Equipo de prueba
1. VTS – WDW- 5Máquina de prueba de material universal KN
2. Cubierta protectora
Dado que la oblea de silicio se romperá debido al estrés durante la prueba y producirá fragmentos voladores, La cubierta protectora puede aislar efectivamente estos fragmentos para evitar daños al personal..
3. 3-Prueba de curvas de puntos
4. Medidor de espesor
5. Condición de prueba
Nombre de muestra: oblea de silicio
Temperatura de prueba: temperatura ambiente
Tipo de prueba: flexión de tres puntos
Prueba de velocidad: 0.508mm/min
IV. Proceso de prueba
Preparación de muestra
Antes de que comience el experimento, Cortar la oblea de silicio en una forma que cumpla con los requisitos de prueba, Limpiarlo y secarlo, y asegúrese de que no haya contaminante en la superficie de la muestra para obtener resultados de prueba precisos.
Mida el grosor y el ancho de la muestra
Use un medidor de espesor con una precisión de 1 Micrón para medir el grosor y el ancho de cada oblea de silicio de muestra para garantizar la consistencia de los datos.
Medición de grosor: Mida el grosor de la oblea de silicio, con un valor promedio de 0.775 mm.
Medición de longitud: Mida la longitud de la oblea de silicio, con un valor promedio de 40 mm.
Medición de ancho: Medir el ancho de la oblea de silicio, con un valor promedio de 20 mm.
Preparación de equipos y accesorios
En primer lugar, Instale el equipo de prueba utilizando la máquina de prueba de material universal VTS-WDW-5. Además, Instale una cubierta protectora para garantizar un funcionamiento seguro. La cubierta protectora puede aislar efectivamente los fragmentos salpicados por la fractura durante la prueba, evitando por lo tanto el daño al personal.
Próximo, Instale el accesorio de flexión de tres puntos en la máquina de prueba. Asegúrese de que la posición del accesorio sea precisa y cumpla con los requisitos de la prueba de flexión de la oblea de silicio.
Configuración de condición de prueba
Establezca los parámetros de la máquina de prueba y pruebe de acuerdo con las siguientes condiciones:
Nombre de muestra: oblea de silicio
Temperatura de prueba: temperatura ambiente
Tipo de prueba: flexión de tres puntos
Prueba de velocidad: 0.508mm/min
Comience el experimento
Coloque la muestra de oblea de silicio en el accesorio de flexión de tres puntos, Inicie la máquina de prueba para aplicar la fuerza de flexión a una velocidad preestablecida, y registre los datos de fuerza de flexión de la oblea de silicio.
Grabación y análisis de datos
En primer lugar, Registre el estrés de flexión máximo y los datos relacionados que se resiste la oblea de silicio antes de romperse. Después, Organizar y analizar estos datos. Finalmente, Evaluar el rendimiento de la resistencia a la flexión del material de la oblea de silicio.
