Test de résistance à la flexion de la plaquette de silicium
Récemment, Andy Li a reçu des échantillons de plaquettes en silicium de clients et a besoin de tester leur force de flexion. Pour répondre aux besoins de tests du client, L'équipe technique de mesure et de contrôle VTS a développé un ensemble de solutions techniques pour ce. Cela comprenait à la fois l'équipement et les méthodes de test.
Test de résistance à la flexion des plaquettes de silicium Principe du test
Le principe du test de résistance à la flexion d'une plaquette de silicium est d'appliquer une charge de flexion progressivement croissante à l'échantillon.. Ce faisant, nous pouvons déterminer la contrainte de flexion maximale qu'il peut supporter avant de se briser. Par conséquent, ce processus nous permet d’évaluer la résistance à la rupture et la stabilité structurelle du matériau.
Normes liées aux tests
Les tests ont été réalisés sur la base de la norme de référence GB/T 15615-1995 “Méthode d'essai pour la résistance à la flexion des tranches de silicium”
Équipement de test
1. STM – WDW- 5Machine d'essai de matériaux universelle KN
2. Housse de protection
Étant donné que la plaquette de silicium se brisera à cause des contraintes pendant le test et produira des fragments volants, le couvercle de protection peut isoler efficacement ces fragments pour éviter tout dommage au personnel.
3. 3-essai de pliage ponctuel
4. Jauge d'épaisseur
5. Conditions de test
Nom de l'échantillon: plaquette de silicium
Température de test: température ambiante
Type d'essai: flexion en trois points
Vitesse de test: 0.508mm/min
Iv. Processus de test
Préparation des échantillons
Avant le début de l'expérience, découper la plaquette de silicium dans une forme qui répond aux exigences du test, nettoyez-le et séchez-le, et assurez-vous qu'il n'y a aucun contaminant sur la surface de l'échantillon pour obtenir des résultats de test précis.
Mesurer l'épaisseur et la largeur de l'échantillon
Utilisez une jauge d'épaisseur avec une précision de 1 micron pour mesurer l'épaisseur et la largeur de chaque tranche de silicium échantillon afin de garantir la cohérence des données.
Mesure d'épaisseur: Mesurer l'épaisseur de la plaquette de silicium, avec une valeur moyenne de 0,775 mm.
Mesure de longueur: Mesurez la longueur de la plaquette de silicium, avec une valeur moyenne de 40mm.
Mesure de la largeur: Mesurez la largeur de la plaquette de silicium, avec une valeur moyenne de 20 mm.
Préparation du matériel et des agencements
Premièrement, installer l'équipement de test à l'aide de la machine d'essai de matériaux universelle VTS-WDW-5. En plus, installer un capot de protection pour garantir un fonctionnement sûr. Le capot de protection permet d'isoler efficacement les fragments éclaboussés par la fracture pendant le test, évitant ainsi de nuire au personnel.
Suivant, installer le dispositif de pliage à trois points sur la machine de test. Assurez-vous que la position du luminaire est précise et répond aux exigences du test de flexion de la plaquette de silicium.
Paramétrage des conditions de test
Définir les paramètres de la machine de test et tester selon les conditions suivantes:
Nom de l'échantillon: plaquette de silicium
Température de test: température ambiante
Type d'essai: flexion en trois points
Vitesse de test: 0.508mm/min
Commencer l'expérience
Placez l'échantillon de plaquette de silicium sur le dispositif de pliage à trois points, démarrer la machine de test pour appliquer une force de flexion à une vitesse prédéfinie, et enregistrer les données de résistance à la flexion de la plaquette de silicium.
Enregistrement et analyse des données
Premièrement, enregistrer la contrainte de flexion maximale et les données associées auxquelles la plaquette de silicium résiste avant de se briser. Ensuite, organiser et analyser ces données. Enfin, évaluer les performances de résistance à la flexion du matériau de la plaquette de silicium.
