Silicon Wafer Bending Strength Testing

Baru-baru ini, Andy Li menerima sampel wafer silikon dari pelanggan dan perlu menguji kekuatan lentur mereka. Untuk memenuhi kebutuhan pengujian pelanggan, Tim Pengukuran dan Kontrol VTS mengembangkan serangkaian solusi teknis untuk TI. Ini termasuk peralatan pengujian dan metode.

Prinsip Uji Kekuatan Lentur Wafer Silikon

Prinsip uji kekuatan tekuk wafer silikon adalah menerapkan beban tekuk yang meningkat secara bertahap pada sampel. Dengan melakukan itu, kita dapat menentukan tegangan lentur maksimum yang dapat ditahannya sebelum patah. Akibatnya, proses ini memungkinkan kami mengevaluasi ketahanan terhadap patah dan stabilitas struktural material.

Uji standar terkait

Pengujian dilakukan berdasarkan standar acuan GB/T 15615-1995 “Metode uji kekuatan lentur wafer silikon”

Peralatan pengujian

1. VTS – WDW- 5Mesin uji material universal KN

2. Penutup pelindung

Karena wafer silikon akan pecah karena tekanan selama pengujian dan menghasilkan pecahan yang beterbangan, penutup pelindung dapat secara efektif mengisolasi pecahan-pecahan ini untuk mencegah bahaya bagi personel.

3. 3-uji titik tekuk

4. Pengukur ketebalan

5. Kondisi pengujian

Nama sampel: wafer silikon

Suhu uji: suhu kamar

Jenis tes: pembengkokan tiga titik

Kecepatan tes: 0.508mm/menit

IV. Proses pengujian

Persiapan sampel

Sebelum percobaan dimulai, potong wafer silikon menjadi bentuk yang memenuhi persyaratan pengujian, bersihkan dan keringkan, dan memastikan tidak ada kontaminan pada permukaan sampel untuk mendapatkan hasil pengujian yang akurat.

Ukur ketebalan dan lebar sampel

Gunakan pengukur ketebalan dengan akurasi 1 mikron untuk mengukur ketebalan dan lebar setiap sampel wafer silikon untuk memastikan konsistensi data.

Pengukuran ketebalan: Ukur ketebalan wafer silikon, dengan nilai rata-rata 0,775mm.

Pengukuran panjang: Ukur panjang wafer silikon, dengan nilai rata-rata 40mm.

Pengukuran lebar: Ukur lebar wafer silikon, dengan nilai rata-rata 20mm.

Persiapan peralatan dan perlengkapan

Pertama, memasang alat uji dengan menggunakan mesin uji material universal VTS-WDW-5. Selain itu, pasang penutup pelindung untuk memastikan pengoperasian yang aman. Penutup pelindung dapat secara efektif mengisolasi pecahan yang terciprat oleh retakan selama pengujian, sehingga menghindari bahaya pada personel.

Berikutnya, pasang perlengkapan tekuk tiga titik pada mesin uji. Pastikan posisi perlengkapan akurat dan memenuhi persyaratan uji tekuk wafer silikon.

Pengaturan kondisi pengujian

Atur parameter mesin uji dan uji sesuai dengan kondisi berikut:

Nama sampel: wafer silikon

Suhu uji: suhu kamar

Jenis tes: pembengkokan tiga titik

Kecepatan tes: 0.508mm/menit

Mulai percobaan

Tempatkan sampel wafer silikon pada perlengkapan pembengkokan tiga titik, nyalakan mesin uji untuk menerapkan gaya tekuk pada kecepatan yang telah ditentukan, dan catat data kekuatan lentur wafer silikon.

Pencatatan dan analisis data

Pertama, catat tegangan lentur maksimum dan data terkait yang dapat ditahan wafer silikon sebelum pecah. Kemudian, mengatur dan menganalisis data ini. Akhirnya, mengevaluasi kinerja kekuatan lentur bahan wafer silikon.