Силиконовая прочность на кремниевые пластины

Недавно, Энди Ли получил образцы кремниевой пластины от клиентов и нуждался в проверке их изгиба. Для удовлетворения потребностей клиентов в тестировании, Техническая команда измерения и контроля VTS разработала набор технических решений для этого. Это включало как испытательное оборудование, так и методы.

Принцип испытания кремниевых пластин на изгиб

Принцип испытания кремниевых пластин на изгиб заключается в приложении к образцу постепенно возрастающей изгибающей нагрузки.. Делая это, мы можем определить максимальное напряжение изгиба, которое он может выдержать перед разрушением.. Следовательно, этот процесс позволяет оценить устойчивость материала к разрушению и структурную стабильность..

Стандарты, связанные с тестированием

Испытания проводились на основе эталонного стандарта GB/T. 15615-1995 “Метод испытания прочности на изгиб кремниевых пластин”

Испытательное оборудование

1. СУДС – ВДВ- 5Универсальная машина для испытания материалов KN

2. Защитная крышка

Поскольку кремниевая пластина сломается из-за напряжения во время испытания и образует летящие фрагменты., защитная крышка может эффективно изолировать эти фрагменты, чтобы предотвратить вред персоналу..

3. 3-испытание на точечный изгиб

4. Толщиномер

5. Условия испытаний

Образец имени: кремниевая пластина

Температура испытания: комнатная температура

Тип теста: трехточечный изгиб

Тест скорости: 0.508мм/мин

IV. Процесс тестирования

Подготовка проб

До начала эксперимента, разрежьте кремниевую пластину до формы, соответствующей требованиям испытаний, очистите и высушите его, и убедитесь, что на поверхности образца нет загрязнений, чтобы получить точные результаты испытаний..

Измерьте толщину и ширину образца

Используйте толщиномер с точностью 1 микрон для измерения толщины и ширины каждого образца кремниевой пластины, чтобы обеспечить согласованность данных.

Измерение толщины: Измерьте толщину кремниевой пластины, при среднем значении 0,775 мм.

Измерение длины: Измерьте длину кремниевой пластины, при среднем значении 40мм.

Измерение ширины: Измерьте ширину кремниевой пластины, при среднем значении 20мм.

Подготовка оборудования и приспособлений

Во-первых, установите испытательное оборудование с помощью универсальной машины для испытания материалов VTS-WDW-5.. Кроме того, установите защитную крышку для обеспечения безопасной эксплуатации. Защитная крышка может эффективно изолировать фрагменты, разлетевшиеся в результате перелома во время испытания., тем самым избегая вреда персоналу.

Следующий, установите приспособление для трехточечного изгиба на испытательную машину. Убедитесь, что положение приспособления точное и соответствует требованиям испытания на изгиб кремниевой пластины..

Настройка условий тестирования

Установите параметры испытательной машины и выполните тестирование в соответствии со следующими условиями.:

Образец имени: кремниевая пластина

Температура испытания: комнатная температура

Тип теста: трехточечный изгиб

Тест скорости: 0.508мм/мин

Начать эксперимент

Поместите образец кремниевой пластины на приспособление для трехточечного изгиба., запустите испытательную машину для приложения изгибающей силы на заданной скорости, и запишите данные прочности на изгиб кремниевой пластины.

Запись и анализ данных

Во-первых, запишите максимальное напряжение изгиба и соответствующие данные, которые выдерживает кремниевая пластина перед разрушением. Впоследствии, систематизировать и проанализировать эти данные. Окончательно, оценить характеристики прочности на изгиб материала кремниевой пластины.