실리콘 웨이퍼 굽힘 강도 테스트

최근에, Andy Li는 고객으로부터 실리콘 웨이퍼 샘플을 받았으며 굽힘 강도를 테스트해야 했습니다.. 고객의 테스트 요구 사항을 충족하기 위해, VTS 측정 및 제어 기술팀은 이를 위한 일련의 기술 솔루션을 개발했습니다.. 여기에는 테스트 장비와 방법이 모두 포함되었습니다..

실리콘 웨이퍼 굽힘 강도 테스트 테스트 원리

실리콘 웨이퍼 굽힘 강도 시험의 원리는 시료에 점차적으로 증가하는 굽힘 하중을 가하는 것입니다.. 그렇게함으로써, 파손되기 전에 견딜 수 있는 최대 굽힘 응력을 결정할 수 있습니다.. 따라서, 이 과정을 통해 재료의 내파괴성과 구조적 안정성을 평가할 수 있습니다..

테스트 관련 표준

테스트는 참조 표준 GB/T를 기반으로 수행되었습니다. 15615-1995 “실리콘 웨이퍼의 굽힘강도 시험방법”

테스트 장비

1. VTS – WDW- 5KN 만능재료시험기

2. 보호 커버

테스트 중 응력으로 인해 실리콘 웨이퍼가 파손되어 파편이 날아갈 수 있으므로, 보호 커버는 이러한 파편을 효과적으로 격리하여 인명 피해를 방지할 수 있습니다..

3. 3-포인트 벤드 테스트

4. 두께 게이지

5. 테스트 조건

샘플 이름: 실리콘 웨이퍼

테스트 온도: 실온

테스트 유형: 3점 굽힘

테스트 속도: 0.508mm/분

IV. 테스트 과정

샘플 준비

실험이 시작되기 전에, 테스트 요구 사항을 충족하는 모양으로 실리콘 웨이퍼를 절단, 청소하고 말리세요, 정확한 테스트 결과를 얻으려면 샘플 표면에 오염 물질이 없는지 확인하십시오..

시료의 두께와 폭을 측정

정확도가 높은 두께 게이지를 사용하십시오. 1 데이터 일관성을 보장하기 위해 각 샘플 실리콘 웨이퍼의 두께와 너비를 측정하는 미크론.

두께 측정: 실리콘 웨이퍼의 두께 측정, 평균값 0.775mm.

길이 측정: 실리콘 웨이퍼의 길이 측정, 평균값 40mm.

폭 측정: 실리콘 웨이퍼의 폭을 측정, 평균값 20mm.

장비 및 비품 준비

첫째로, VTS-WDW-5 만능 재료 시험기를 사용하여 시험 장비 설치. 추가적으로, 안전한 작동을 보장하기 위해 보호 커버를 설치하십시오.. 보호 커버는 테스트 중 파손으로 인해 튀는 파편을 효과적으로 격리할 수 있습니다., 이를 통해 인원에 대한 피해를 방지합니다..

다음, 테스트 기계에 3점 굽힘 고정 장치를 설치합니다.. 고정 장치 위치가 정확하고 실리콘 웨이퍼 굽힘 테스트 요구 사항을 충족하는지 확인하십시오..

테스트 조건 설정

테스트 기계 매개 변수를 설정하고 다음 조건에 따라 테스트하십시오.:

샘플 이름: 실리콘 웨이퍼

테스트 온도: 실온

테스트 유형: 3점 굽힘

테스트 속도: 0.508mm/분

실험 시작

실리콘 웨이퍼 샘플을 3점 굽힘 고정 장치에 놓습니다., 미리 설정된 속도로 굽힘력을 가하기 위해 시험기를 가동합니다., 실리콘 웨이퍼의 굽힘 강도 데이터를 기록합니다..

데이터 기록 및 분석

첫째로, 실리콘 웨이퍼가 파손되기 전에 견딜 수 있는 최대 굽힘 응력 및 관련 데이터를 기록합니다.. 그후, 이 데이터를 정리하고 분석합니다. 마지막으로, 실리콘 웨이퍼 재료의 굽힘 강도 성능 평가.